特許
J-GLOBAL ID：200903090386787756

光学顕微鏡及びスペクトル測定方法

発明者：
小林 実

小林 実 について

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太田 泰輔

太田 泰輔 について

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大出 孝博

大出 孝博 について


出願人/特許権者：
ナノフォトン株式会社

ナノフォトン株式会社 について


代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-247510
公開番号（公開出願番号）：特開2007-179002
出願日： 2006年09月13日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：
【課題】精度の高いスペクトル測定を短時間で行うことができる光学顕微鏡を提供すること。【解決手段】本発明の第1の態様にかかる光学顕微鏡100は、レーザ光源10と、光ビームをY方向に走査するY走査装置13と、対物レンズ21と、光ビームをX方向に走査するX走査装置13と、Y走査装置13から試料22までの光路中に配置され、試料22に入射された光ビームのうち、異なる波長となって試料22から対物レンズ21側に出射する出射光とレーザ光源10から試料22に入射する光ビームとを分離するビームスプリッタ17と、Y方向に対応する方向に沿って配置された入射スリット30を有し、入射スリット30を通過した出射光を波長に応じて空間的に分散させる分光器31と、分光器31で分散させた出射光を検出する検出器32とを備えるものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、 前記レーザ光源からの光ビームを偏向させて第1の方向に走査する第1の走査手段と、 前記走査手段により走査された光ビームを集光して試料に入射させる対物レンズと、 前記第1の走査手段によって走査された光ビームと前記試料との相対位置を移動させて第2の方向に走査する第2の走査手段と、 前記第1の走査手段から前記試料までの光路中に配置され、前記試料に入射された光ビームのうち、異なる波長となって前記試料から前記対物レンズ側に出射する出射光と前記レーザ光源から前記試料に入射する光ビームとを分離するビームスプリッタと、 前記ビームスプリッタにより分離された出射光が集光されて入射する入射側に前記第1の方向に対応する方向に沿って配置された入射スリットを有し、前記入射スリットを通過した前記出射光を波長に応じて空間的に分散させる分光器と、 前記分光器で分散された出射光を検出する2次元アレイ光検出器とを備える光学顕微鏡。
IPC (7件)：
G02B 21/06 ,  G02B 21/24 ,  G02B 21/36 ,  G01J 3/36 ,  G01J 3/44 ,  G01N 21/64 ,  G01N 21/65
FI (7件)：
G02B21/06 ,  G02B21/24 ,  G02B21/36 ,  G01J3/36 ,  G01J3/44 ,  G01N21/64 E ,  G01N21/65
Fターム (43件)：
2G020AA03 ,  2G020CA01 ,  2G020CA02 ,  2G020CA04 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CC02 ,  2G020CC13 ,  2G020CC28 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2G020CD13 ,  2G020CD14 ,  2G020CD24 ,  2G043AA01 ,  2G043BA15 ,  2G043BA16 ,  2G043EA01 ,  2G043EA03 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043FA06 ,  2G043GA08 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA09 ,  2G043JA02 ,  2G043JA03 ,  2G043JA04 ,  2G043JA05 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2H052AA07 ,  2H052AB01 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AD18 ,  2H052AD34 ,  2H052AF07 ,  2H052AF14
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (17件)
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