特許
J-GLOBAL ID：201003099566666785

ディスパーション干渉計及び被測定物の物理量の計測方法

発明者：
秋山 毅志

秋山 毅志 について

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川端 一男

川端 一男 について

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岡島 茂樹

岡島 茂樹 について

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中山 和也

中山 和也 について


出願人/特許権者：
大学共同利用機関法人自然科学研究機構

大学共同利用機関法人自然科学研究機構 について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-282085
公開番号（公開出願番号）：特開2010-107470
出願日： 2008年10月31日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
要約：
【課題】変調信号のフーリエ成分である基本波、2倍高調波の信号強度比から位相抽出を行うことにより、高周波ノイズの影響を無くすとともに信号強度変化による測定誤差を低減し高精度化することができ、実時間制御での利用が可能なディスパーション干渉計を提供する。【解決手段】ディスパーション干渉計の非線形結晶素子10は、レーザ光(基本波W1)の一部を2倍高調波W2に変える。光弾性素子12は、基本波W1に変調角周波数ωm分の位相変調を発生させる。非線形結晶素子14はプラズマ30を透過した基本波W1を2倍高調波W2に変える。波長選択フィルタ16は2倍高調波W2を選択的に透過させる。干渉計は、干渉信号における変調角周波数ωmの基本波成分と2倍高調波成分の強度比を求め、該強度比と、位相変化量に基づいて、プラズマ30の物理量である線平均電子密度を算出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基本波となる直線偏光のレーザ光を透過させて、一部のレーザ光を前記基本波と偏光方向が直交する第1の2倍高調波に変える第1非線形結晶素子と、 位相変調を付与する駆動信号が印加されることにより、前記第1非線形結晶素子を介して入射した前記基本波と第1の2倍高調波のうちいずれか一方にのみ前記位相変調を発生させて、基本波及び第1の2倍高調波を共に被測定物に出射する位相変調手段と、 前記被測定物を透過した基本波と第1の2倍高調波を入射して、前記基本波を該基本波と偏光方向が直交する第2の2倍高調波に変える第2非線形結晶素子と、 前記第2非線形結晶素子を通過した第1の2倍高調波と第2の2倍高調波を選択的に透過させる波長選択フィルタと、 前記波長選択フィルタを透過した第1の2倍高調波と第2の2倍高調波の干渉信号を取得する干渉信号取得手段と、 前記干渉信号に含まれる前記被測定物による位相変化量に基づいて前記被測定物に関する物理量を計測する計測手段を備えたディスパーション干渉計において、 前記計測手段は、 前記干渉信号における変調角周波数の基本波と2倍高調波の強度比を求め、該強度比と、前記位相変化量に基づいて前記被測定物に関する物理量を算出することを特徴とするディスパーション干渉計。
IPC (4件)：
G01N 21/45 ,  G01J 9/02 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/06
FI (4件)：
G01N21/45 ,  G01J9/02 ,  G01B9/02 ,  G01B11/06 G
Fターム (32件)：
2F064AA00 ,  2F064EE10 ,  2F064FF01 ,  2F064FF06 ,  2F064GG42 ,  2F064GG52 ,  2F064GG53 ,  2F064HH05 ,  2F064JJ05 ,  2F065AA30 ,  2F065BB22 ,  2F065CC31 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065GG05 ,  2F065GG23 ,  2F065HH09 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL22 ,  2F065NN05 ,  2F065NN08 ,  2F065UU07 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB20 ,  2G059EE09 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 米国特許第5642195号明細書
審査官引用 (3件)
引用文献：
審査官引用 (1件)

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