特許
J-GLOBAL ID：201003099649715745
被研磨物キャリア及び研磨製品の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人ウィルフォート国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-022341
公開番号（公開出願番号）：特開2010-179375
出願日： 2009年02月03日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：
【課題】キャリア本体の内壁の内側に取り付けられた被研磨物を保護するためのインサートの磨耗や変形を減らす。【解決手段】半導体ウェーハの平面研磨などで使用される被研磨物キャリア100Aは、被研磨物保持穴105Aを囲む内壁106Aに、研磨物を保護するための樹脂製インサート104Aを有する。インサート104Aの摩耗や変形を減らすために、インサート104Aの径方向の幅(内壁106Aの最小内径とインサート104Aの最小内径との差)は、1mm未満で、望ましくは0.5mmである。内壁106Aの径方向断面形状は、その上端部と下端部が中央部より径方向内方へ突出した凹形であり、それにより、インサート104Aの摩耗部分である上面部と下面部の径方向長さが最小になる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
被研磨物を収容するための貫通穴を有するキャリア本体と、
前記キャリア本体の前記貫通穴を囲む内壁の内側に取り付けられた、前記内壁の材料より柔軟な材料製のインサートと
を備える被研磨物キャリアにおいて、
前記キャリア本体の前記内壁の径方向断面形状が、前記内壁の上端部と下端部が中央部より径方向内方へ突出した凹形であり、
前記インサートの最小内径が、前記キャリア本体の前記内壁の最小内径より、所定幅だけ小さい、被研磨物キャリア。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
3C058AB04
, 3C058AB09
, 3C058CB02
, 3C058CB06
, 3C058DA06
, 3C058DA09
, 3C058DA17
