特許
J-GLOBAL ID：200903083643097611

ワークキャリア

発明者：
西川 真三

西川 真三 について


出願人/特許権者：
スピードファム株式会社

スピードファム株式会社 について


代理人 (3件)： 林 直生樹 ,  林 宏 ,  堀 宏太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-173987
公開番号（公開出願番号）：特開2009-012086
出願日： 2007年07月02日
公開日（公表日）： 2009年01月22日
要約：
【課題】ワーク保持孔の内周に取り付けたインサートの位置ずれや脱落等が生じにくく、かつ、ワークの研磨加工時における摩耗が生じにくいワークキャリアを提供する。【解決手段】金属製のキャリア基板13に開口を設け、該開口の内周に軟質のインサート15を取り付け、このインサート15の内側をワーク保持孔12としたワークキャリア10において、開口の内周の少なくとも一部に角溝形の係止溝22を設けると共に、インサート15の外周の少なくとも一部に角形断面の係止突条23を形成し、この係止突条23を係止溝22内に嵌合、係止させた状態でインサート15をキャリア基板13の開口の内周に固定する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
金属製のキャリア基板にワーク保持孔を形成するための開口を設け、該開口の内周にキャリア基板より軟質のインサートを固定し、このインサートの内側を上記ワーク保持孔としたワークキャリアにおいて、 上記開口の内周の少なくとも一部に、溝壁に角部を有する角溝形の係止溝が該開口の周方向に延設されると共に、上記インサートの外周の少なくとも一部に、上記係止溝の角部に適合する角部を備えた角形断面の係止突条が該インサートの周方向に延設されていて、この係止突条が上記係止溝内に嵌合、係止することによって上記インサートがキャリア基板に固定されていることを特徴とするワークキャリア。
IPC (2件)：
B24B 37/04 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
B24B37/04 C ,  H01L21/304 622G
Fターム (6件)：
3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058AB08 ,  3C058CB01 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (1件)
  • 被研磨物保持材及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-208289   出願人：住友ベークライト株式会社, アートライト工業株式会社, 株式会社ユーティーケー・システム, 株式会社シー・アール・ティー

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