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J-GLOBAL ID：201102204735672473   整理番号：11A0154095

2MHz自励発振器によるプラズマ処理技術に関する研究(第1報)

著者 (7件)： 阿部治 (山梨県工技セ) ,  木島一広 (山梨県工技セ) ,  河野裕 (山梨県工技セ) ,  杉田良雄 (ワイエス電子工業) ,  長谷川均 (ワイエス電子工業) ,  関谷英治 (ワイエス電子工業) ,  中込章公 (ワイエス電子工業)
資料名： 山梨県工業技術センター研究報告  (Report of the Yamanashi Prefectural Industrial Technology Center)
号： 24  ページ： 110-112  発行年： 2010年 
JST資料番号： L0017A  ISSN： 0914-711X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 2MHz自励発振器を使用した高周波プラズマ処理装置を作製し,放射される電界強度を測定したところ,150k~30MHzにおいて,電波法の規制値以下になっていることを確認した。また,この高周波プラズマ処理装置を用いて,各種プラスチックシートに対して酸素プラズマによる表面処理を行ったところ,13.56MHzの場合と同程度のぬれ性の向上が認められた。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ ,  プラズマ処理 ,  自励発振 ,  *試作 ,  プラスチックシート ,  *濡れ ,  *表面処理
準シソーラス用語： *高周波プラズマ ,  *酸素プラズマ

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (5件)：

• 八代 浩二, 鈴木 大介, 他: 山梨県工業技術センター研究報告, No.21, p.10-14(2007)
• 八代 浩二, 鈴木 大介, 他: 山梨県工業技術センター研究報告, No.23, p.6-9(2009)
• Yuu IRIYAMA et al.: Plasma Treatment and Plasma Polymerization by Self-Oscillating 2-MHz Generator, J Photopolym Sci Technol, Vol.20, No.2, p.209-213(2007).
• 野田 臣光: IH技術応用家電機器のEMC, 第10回EMCシンポジウムIIDA 2009予稿集, p.59(2009)
• 萩原 茂, 河野 裕, 木島 一広, 阿部 治, 他: 山梨県総合理工学研究機構研究報告書, No.4, p.63-69(2009)

タイトルに関連する用語 (3件)： 自励発振 ,  プラズマ処理 ,  研究