文献

J-GLOBAL ID：200902207848547676   整理番号：07A0675055

自励発振2-MHz発振器によるプラズマ処理及びプラズマ重合

Plasma Treatment and Plasma Polymerization by Self-Oscillating 2-MHz Generator

著者 (3件)： IRIYAMA Yu (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN) ,  TANAKA Keita (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN) ,  YAMAGUCHI Sayaka (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 20  号： 2  ページ： 209-213  発行年： 2007年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2-MHz発振器を用いてプラズマ処理とプラズマ重合を行い,1...

シソーラス用語： *自励発振 ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0675055&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L0202A") }}

分類 (2件)： 表面処理  (YH04112X) ,  単独重合  (CG04020S)

物質索引 (2件)： エチレン ,  トリフルオロメタン

引用文献 (5件)：

• A. R. Denaro, P. A. Owens, and A. Crawshaw, Eur. Polym. J., 5, 471(1968).
• A. M. Mearns, Thin Solid Films, 3, 201(1969).
• H. Toyoda, H. Komiyama, and H. Itakura, J. Electr. Mater., 9, 569(1980).
• R. H. Bruce, J. Appl. Phys., 52, 7064(1981).
• Y. Iriyama and M. Noda, J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem., 36, 2043(1998).

タイトルに関連する用語 (4件)： 自励発振 ,  発振器 ,  プラズマ処理 ,  プラズマ重合