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J-GLOBAL ID：201102207947687011   整理番号：11A0813476

環状明視野(ABF)STEM法の理論と応用

著者 (5件)： 柴田直哉 (東大 大学院工学系研究科) ,  柴田直哉 (JST-さきがけ) ,  FINDLAY Scott D. (東大 大学院工学系研究科) ,  幾原雄一 (東大 大学院工学系研究科) ,  幾原雄一 (ファインセラミックスセ ナノ構造研)
資料名： 顕微鏡  (Microscopy)
巻： 46  号： 1  ページ： 55-60  発行年： 2011年03月30日 
JST資料番号： Y0541A  ISSN： 1349-0958  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 収差補正STEM法は,原子レベルの材料解析において極めて有力な手法である。STEM法では主に高角度散乱された電子を選択的に検出するHAADF法が用いられてきたが,HAADF法は像コントラストが原子番号に強く依存するため,軽元素と重元素の同時観察には不向きであった。最近,低角度散乱された電子を環状検出器で検出する環状明視野(ABF)法により,結晶中の軽元素を極めて明瞭に観察できることが示され,材料解析への応用が期待されている。本解説では,ABF STEM法の特徴と像形成理論を概説するとともに,最近のアプリケーション例についても紹介する。原子分解能ABF STEM法は,軽元素カラムと重元素原子カラムを同時に観察することを可能にし,これまで困難であった材料内部の軽元素構造を直接決定する新しいツールになることが期待される。また,ABF STEM法によりH原子カラムの直接観察が実験的に示されたことは,顕微鏡学者の長年の夢であった全元素対応型原子分解能電子顕微鏡の実現を意味しており,大変意義深いことである。

シソーラス用語： *透過型走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  *像形成 ,  視野 ,  収差補正 ,  コントラスト ,  配列
準シソーラス用語： ABF-STEM ,  原子配列 ,  明視野

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (22件)：

• JIA, C. L. Science. 2004, 303, 2001
• JIA, C.-L. Nature Mater. 2008, 7, 57
• PENNYCOOK, S. J. Ultramicroscopy. 1991, 37, 14
• BOSMAN, M. Phys. Rev. Lett. 2007, 99, 086102
• KIMOTO, K. Nature. 2007, 450, 702

タイトルに関連する用語 (5件)： 環状 ,  明視野 ,  STEM ,  理論 ,  応用