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J-GLOBAL ID：201102211131810904   整理番号：11A0918050

ナノ機械膜型表面応力センサ

Nanomechanical Membrane-type Surface Stress Sensor

著者 (5件)： YOSHIKAWA Genki (National Inst. for Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN) ,  AKIYAMA Terunobu (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  GAUTSCH Sebastian (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  VETTIGER Peter (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  ROHRER Heinrich
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 11  号： 3  ページ： 1044-1048  発行年： 2011年03月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： センサチップ上に集積した圧電抵抗素子を用いて読取りを行うナノ機械膜型表面圧力センサ(MSS)を開発した。このMSSは片持梁に曲げを誘起する試料の表面応力を検出する。MSSの「吸着膜」は4つの圧電抵抗「検出梁」により懸垂されてWheatstoneブリッジを構成する。試料から誘発される膜上の全ての等方性表面応力は圧電抵抗梁に伝達され,増幅された一軸性応力に変換される。プロトタイピングしたMSSの特性を評価し,標準的な圧電抵抗片持梁に比べると,20倍以上の感度が得られることを実証した。

シソーラス用語： *圧電素子 ,  *圧抵抗効果 ,  *表面応力 ,  *圧力センサ ,  *ナノ構造 ,  膜 ,  ガスセンサ ,  バイオセンサ ,  片持梁 ,  試料 ,  プロトタイピング ,  変換器 ,  キャラクタリゼーション ,  高感度 ,  実証実験

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (2件)： ナノ機械 ,  応力センサ