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J-GLOBAL ID:201102213270467141   整理番号:11A1252269

立方晶窒化ホウ素膜の新しい残留応力緩和手法

著者 (4件):
資料名:
巻: 27  号:ページ: 46-47  発行年: 2011年07月25日 
JST資料番号: X0341A  ISSN: 1340-4792  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
分類
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その他の無機化合物の薄膜  ,  セラミック・陶磁器の製造 
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