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J-GLOBAL ID:201102218065904310   整理番号:11A0142822

同軸2重円筒ノズル型電極を用いたガスジェット型放電生成プラズマ光源に関する研究

Study on gas-jet type DPP light source using co-axial nozzle electrodes
著者 (4件):
資料名:
巻: PST-10  号: 65-66.68-69.71-85  ページ: 63-65  発行年: 2010年12月16日 
JST資料番号: Z0951A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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EUVリソグラフィーためのEUV光源で,プラズマ生成には放電生成プラズマ(DPP)方式で研究をしている。EUV出力の向上及びデブリの低減及び遮蔽のため,Zピンチ放電及び同軸二重ノズル型電極を用いた。予備電離方式にはRF放電を採用した。Xe内部圧力とEUV出力の関係を調べた実験では,初期ガス密度分布を変化させることでピンチプラズマ形成に影響を与え,EUV出力の最適化が図れることが分った。RF予備電離強度とEUV出力の関係ではRF電源の出力電力の増加と共にEUV出力が低下した。
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分類 (1件):
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光源,照明器具 

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