ポリスチレンナノ球を用いた低コスト鋳型の製作とナノインプリントリソグラフィ

JEONG G.H.; PARK J.K.; LEE K.K.; JANG J.H.; LEE C.H.; KANG H.B.; YANG C.W.; SUH S.J.

文献

J-GLOBAL ID：201102218145995723 整理番号：11A0467019

ポリスチレンナノ球を用いた低コスト鋳型の製作とナノインプリントリソグラフィ

Fabrication of low-cost mold and nanoimprint lithography using polystyrene nanosphere

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資料名：
巻： 87 号： 1 ページ： 51-55 発行年： 2010年01月
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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