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J-GLOBAL ID：201102219924997631   整理番号：11A0825867

不変集合を利用したシリコンウエハ搬送ロボットの動作切り換え制御

Motion Switching Control Using the Invariant Set for the Silicon Wafer Transfer Robot

著者 (3件)： 安孫子紘市 (長岡技科大 大学院工学研究科) ,  平田研二 (長岡技科大) ,  太田快人 (京大 大学院情報学研究科)
資料名： 日本機械学会論文集 C編(Web)  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C (Web))
巻： 77  号： 775  ページ： 1017-1028 (WEB ONLY)  発行年： 2011年 
JST資料番号： U0184A  ISSN： 1884-8354  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,シリコンウエハ搬送ロボットにおける一連の動作の作業工程時間の短縮を,動作の切り換えによって実現するアルゴリズムを提案する。動作の切り換え制御では,例えば直進動作,回転動作それぞれに対する制御系設計のみで一連の動作を実現することができる。切り換え後の動作を保証するために,提案するアルゴリズムでは不変集合に着目する。不変集合を利用して適切な切り換え時刻を与えることで,動作間の不要な静止時間を廃し,作業工程時間の短縮が可能となる。また,提案する動作切り換え制御の有効性を,実際のシリコンウエハ搬送ロボットに対する実験により検証する。(著者抄録)

シソーラス用語： *産業用ロボット ,  *ウエハ【IC】 ,  ロバスト制御 ,  工程 ,  時間圧伸 ,  マニピュレータ ,  *シリコンウエハ ,  作業工程 ,  時間短縮 ,  動作制御 ,  スイッチング制御 ,  *運搬ロボット ,  ロボット
準シソーラス用語： 切換制御 ,  *搬送ロボット

分類 (1件)： 産業用ロボット  (IC04020M)

引用文献 (21件)：

• (1) 大原伸介, 平田研二, 太田快人, “ウエハ搬送ロボットの直進運動高精度化に関する考察と実験による検証”, 第6回計測自動制御学会制御部門大会予稿集(2006), pp. 487-490.
• (2) 大原伸介, 平田研二, 太田快人, “入力・横揺れ制約を考慮した真空環境用二軸ウエハ搬送ロボットの制御系設計と実験による検証”, 日本機械学會論文集C編, Vol. 72, No. 716 (2006), pp. 1184-1193.
• (3) 前谷治男, “ウエハ搬送ロボットとその応用”, ロボット, Vol. 140 (2001), pp. 8-13.
• (4) Shiller, Z. and Dubowsky, S., “Robot Path Planning with Obstacles, Actuator, Gripper, and Payload Constraints”, International Journal of Robotics Research, Vol. 8, No. 6 (1989), pp. 3-18.
• (5) Carriker, W. F., Khosla, P. K., and Krogh, B. H., “Path Planning for Mobile Manipulators for Multiple Task Execution”, IEEE Transactions on Robotics and Automation, Vol. 7, No. 3 (1991), pp. 403-408.

タイトルに関連する用語 (4件)： 不変集合 ,  シリコンウエハ ,  搬送ロボット ,  切り換え制御