文献

J-GLOBAL ID：201102229338935487   整理番号：11A1433221

銅ナノ膜の破壊靭性に及ぼす寸法の効果

Size effect on fracture toughness of freestanding copper nano-films

著者 (6件)： HIRAKATA Hiroyuki (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  NISHIJIMA Osamu (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  FUKUHARA Naomichi (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  KONDO Toshiyuki (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  YONEZU Akio (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  MINOSHIMA Kohji (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)
資料名： Materials Science & Engineering. A. Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing  (Materials Science & Engineering. A. Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing)
巻： 528  号： 28  ページ： 8120-8127  発行年： 2011年10月25日 
JST資料番号： D0589B  ISSN： 0921-5093  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子ビーム蒸着法で作った厚さ約800~100nmの銅膜の破壊靭性実験を行い,破壊靭性に及ぼすナノ又はサブミクロンの寸法効果を解明した。まず亀裂が荷重を受けて安定的に伝播し,次に亀裂伝播速度が急に増して不安定破壊に至ることが判明した。R曲線で破壊靭性K_Cを推定した結果,薄板の厚さが800nmでは7.81±1.22MPa m^1/2,500nmでは6.63±1.05MPam^1/2,100nmでは2.34±0.54MPa m^1/2であった。明らかに寸法の効果がみられた。破面観察から,厚めの800nmと500nmの薄膜の中で大きく塑性変形し,薄めの100nmでは非常に局所化した塑性変形を伴って亀裂が伝播することがわかった。破壊靭性における寸法効果は,亀裂先端近くの変形と破壊の形態の遷移と関連していると思われる。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *銅 ,  *破壊靱性 ,  電子ビーム蒸着 ,  ナノメータ加工 ,  破壊 ,  *サイズ効果 ,  塑性変形 ,  亀裂先端 ,  金属組織 ,  降伏応力 ,  *金属薄膜 ,  依存性 ,  ナノ構造 ,  蒸着膜 ,  ナノシート
準シソーラス用語： ナノ膜 ,  亀裂伝播速度 ,  厚み依存性 ,  不安定破壊

分類 (2件)： 金属材料  (HC04020L) ,  材料試験  (HB02020U)

タイトルに関連する用語 (3件)： 銅 ,  ナノ膜 ,  破壊靭性