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J-GLOBAL ID：201102233199103088   整理番号：11A1373999

空気流変動対策と大規模ガラス基板に使われるクリンストッカの汚染

MEASURE TO THE AIRFLOW FLUCTUATION AND THE CONTAMINATION IN CLEAN STOCKERS USED FOR LARGE-SCALED GLASS SUBSTRATES

著者 (7件)： SUWA Yoshihide (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  FUJII Shuji (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  YAMADA Yoko (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  YAMASHITA Rie (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  MIN Taehong (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  HAYASHI Takao (Murata Machinery Ltd., Aichi, JPN) ,  MATSUBA Katsumi (Murata Machinery Ltd., Aichi, JPN)
資料名： Proceedings of International Symposium on Contamination Control 2010, Tokyo  (Proceedings of International Symposium on Contamination Control 2010, Tokyo)
ページ： 271-276  発行年： 2010年 
JST資料番号： M20110004  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *変動 ,  空気流 ,  クリーンルーム ,  フラットパネルディスプレイ ,  基板 ,  ガラス ,  汚染 ,  表面 ,  *移送装置 ,  トラッククレーン ,  収納 ,  システム ,  マテリアルハンドリング ,  圧力変動 ,  動圧 ,  空気濾過器 ,  無人搬送車
準シソーラス用語： クリンストッカ ,  クレーン走行による動圧変化 ,  ファンフィルタユニット ,  *空気流変動 ,  大規模ガラス基板 ,  粒子状表面汚染

分類 (6件)： 空気浄化  (PC02060X) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  運搬管理  (KB05040O) ,  その他の荷役・運搬機械  (QE01040B) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  生産に関する一般問題  (NA01060I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 空気流 ,  対策 ,  大規模 ,  ガラス基板 ,  汚染