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J-GLOBAL ID:201102239298797022   整理番号:11A0866961

高圧力下での結晶成長 超臨界アンモニアへのGaNの溶解度

Solubility of GaN in Supercritical Ammonia
著者 (2件):
資料名:
巻: 38  号:ページ: 31-35  発行年: 2011年04月 
JST資料番号: F0452B  ISSN: 0385-6275  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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アモノサーマル法で用いる酸性鉱化剤を添加したGaNの溶解度を質量減少法で測定し,塩基性鉱化剤のときと比較検討した。酸性鉱化剤による溶解度は,温度の上昇とともに増加するが,塩基性では,その逆の傾向を示した。さらに,GaNの溶解度に及ぼす圧力,溶媒密度,鉱化剤濃度,ハロゲン種および,鉱化剤混合の影響について,それぞれ,溶解度データを取得し,議論した。
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分類 (1件):
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半導体の結晶成長 
引用文献 (12件):

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