文献

J-GLOBAL ID：201102239418852324   整理番号：11A0571221

ドメイン成長の格子不整合を俯瞰する極点図の提案(シリコン基板上に成長したMgO薄膜の大きな格子不整合)

著者 (8件)： 金子智 (神奈川県産技セ) ,  秋山賢輔 (神奈川県産技セ) ,  伊藤健 (神奈川県産技セ) ,  安井学 (神奈川県産技セ) ,  小沢武 (神奈川県産技セ) ,  本泉佑 (神奈川県産技セ) ,  曽我雅康 (神奈川県産技セ) ,  平林康男 (神奈川県産技セ)
資料名： 神奈川県産業技術センター研究報告  (Reports of Kanagawa Industrial Technology Center)
号： 16  ページ： 73-74  発行年： 2010年12月 
JST資料番号： F0538B  ISSN： 1882-0026  CODEN： KGSKF7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 単結晶基板上への薄膜作製では,基板と膜の格子定数の違いである格子不整合とドメイン不整合が指標として用いられる。本研究では,組合せの無数にあるドメイン不整合を表で示すのではなく,図として俯瞰できるドメイン整合極点図を提案する。動径をドメインの大きさ,偏角をドメインの向きとして,ドメイン整合性を極座標上にプロットした。(著者抄録)

シソーラス用語： 格子不整合 ,  *酸化マグネシウム ,  基板 ,  単結晶 ,  ケイ素 ,  *極座標 ,  *分域 ,  *不整合 ,  *薄膜 ,  レーザ蒸着 ,  エピタクシー
準シソーラス用語： ドメイン不整合

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (2件)：

• 金子他; Jpn. J. Appl. Phys., 45, L1328(2006).
• 金子他; Jpn. J. Appl. Phys., 40, 4870(2001).

タイトルに関連する用語 (8件)： ドメイン ,  成長 ,  格子不整合 ,  極点図 ,  提案 ,  シリコン基板 ,  MgO ,  薄膜