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J-GLOBAL ID：201102247437229657   整理番号：11A0138724

プリント配線基板内蔵用高容量薄膜コンデンサの開発-BaTiO₃ナノ粒子堆積薄膜の粒子充填率に及ぼす粒径,粒子分散性の影響-

著者 (4件)： 牧野晃久 (福岡県工技セ) ,  有村雅司 (福岡県工技セ) ,  藤吉国孝 (福岡県工技セ) ,  桑原誠 (九大)
資料名： 福岡県工業技術センター研究報告
号： 20  ページ： 10-13  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： G0843B  ISSN： 0916-8230  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年の電子機器の小型化・高機能化に対応するため,コンデンサをプリント基板内部に集積した部品内蔵基板が開発されている。我々はプリント基板に内蔵可能な薄膜コンデンサを200°C以下で作製することを試みており,この条件では薄膜中の粒子充填率が薄膜の誘電特性に大きく影響を及ぼす。本研究ではナノ粒子の粒径,分散性が薄膜の粒子充填率に及ぼす影響を明らかにした。粒子充填率は粒子分散性が向上する程,また微粒化する程高くなった。薄膜の誘電率は粒子分散性に比例して向上したが,微粒化に対しては29nmをピークにそれ以下では低下する傾向を示した。微粒化に伴う粒子充填率の向上と粒子誘電率の低下がバランスしたところでピークが現れたと考えられ,ナノ粒子を用いた薄膜コンデンサでは粒子充填率と粒子誘電率を考慮した微構造設計が必要である。(著者抄録)

シソーラス用語： *プリント基板 ,  *薄膜コンデンサ ,  *埋込み【挿入】 ,  ナノ粒子 ,  比率 ,  *結晶粒径 ,  蒸着膜 ,  *微粒化 ,  *誘電率 ,  構造設計 ,  チタン酸バリウム
準シソーラス用語： 充填率

分類 (2件)： LCR部品  (NA05030D) ,  プリント回路  (NA05040O)

引用文献 (7件)：

• 牧野晃久ら: NEDO 技術開発機構産業技術研究助成事業成果報告書「プリント配線基板内蔵用薄膜コンデンサの開発」(2010)
• Makino T., et al.: Key Eng. Mater., Vol.269, pp. 109-112(2004)
• 松尾隆二ら: 表面・界面工学大系 上巻 基礎編, フジ・テクノシステム, pp. 600-607(2005)
• 藤吉国孝ら: エレクトロニクス実装学会誌, Vol.13, pp. 52-57(2010)
• 牧野晃久ら: 福岡県工業技術センター研究報告, Vol.19, pp. 33-36(2009)

タイトルに関連する用語 (10件)： プリント配線基板 ,  薄膜コンデンサ ,  開発 ,  BaTiO3 ,  ナノ粒子 ,  堆積 ,  薄膜 ,  充填率 ,  粒径 ,  粒子分散