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J-GLOBAL ID：201102249344517892   整理番号：11A0791586

劣悪環境用途での低仕事関数窒化チタン被覆トランスファーモールド電界放出アレーの安定性

Suitability of low-work-function titanium nitride coated transfer mold field-emitter arrays for harsh environment applications

著者 (2件)： NAKAMOTO Masayuki (Res. Inst. of Electronics, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8011, JPN) ,  MOON Jonghyun (Res. Inst. of Electronics, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8011, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 29  号： 2  ページ： 02B112  発行年： 2011年03月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： トランスファーモールド法により,低仕事関数窒化チタン(TiN)トランスファーモールド電界放出アレー(TiN-FEAs)を製造した。本手法には,宇宙空間内の電気推進エンジンによりしばしば影響を受ける激しいプラズマ大気に耐えうる安定な大型航空宇宙ナノデバイスを実現する可能性がある。他の用途として,極めて酸化性が高い大気に適した電界放出表示装置などの真空ナノ電子装置の製造である。TiN-FEAsは,半径6.8 nmの鋭敏な探針を有し,その仕事関数は,カーボンナノチューブなどの従来のエミッター材料の約5.0eVと比較して丁度3.2eVである。TiN-FEAのターンオーン電場は,15.4 V/μmもの低さであり,その陽極-エミッター間の距離は,10μmである。TiN-FEAsの電界放出特性は,軌道衛星が通常に受けるものよりも数桁高いフラックである10¹⁵ cm^-2 s^-1での酸素ラジカルを照射することで,10^-3 Paという高圧力で,in situで評価した。処理時間が延びると,TiN-FEAsのターンオン電界が,15.4から18.8 V/μmへと僅かに変化し,in situ酸素ラジカル処置中の仕事関数において変化が見られなかった。概して,TiN-FEAsは,劣悪な環境に対して,安定な電界放出特性,及び,高レベルの耐性を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *仕事関数 ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  *被覆 ,  移送成形 ,  *電界放出 ,  *配列 ,  *大気プラズマ ,  ラジカル ,  *安定性
準シソーラス用語： 窒化チタン ,  トランスファ成形

分類 (1件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

タイトルに関連する用語 (8件)： 環境 ,  用途 ,  仕事関数 ,  窒化チタン ,  トランスファーモールド ,  電界放出 ,  アレー ,  安定性