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J-GLOBAL ID：201102250537597298   整理番号：11A1680088

剥離層を用いた金属埋め込み半導体ピラー構造の作製と光学評価

著者 (13件)： 飯島仁史 (北大 電子科研) ,  和田雅樹 (北大 電子科研) ,  中島秀朗 (北大 電子科研) ,  井田惣太郎 (北大 電子科研) ,  小田島聡 (北大 電子科研) ,  小田島聡 (北大) ,  熊野英和 (北大 電子科研) ,  熊野英和 (JST-CREST) ,  西尾崇 (北大 大学院) ,  松尾保孝 (北大 電子科研) ,  居城邦治 (北大 電子科研) ,  末宗幾夫 (北大 電子科研) ,  末宗幾夫 (JST-CREST)
資料名： 応用物理学会北海道支部・日本光学会北海道地区合同学術講演会講演予稿集  (応用物理学会北海道支部学術講演会・日本光学会北海道地区講演予稿集)
巻： 46th-7th  ページ： 32  発行年： 2011年01月07日 
JST資料番号： L5918A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ヒ化インジウム ,  半導体材料 ,  量子ドット ,  電子ビームリソグラフィー ,  光ルミネセンス ,  *発光スペクトル ,  電子顕微鏡観察 ,  *ナノ構造 ,  *柱 ,  MOMBE ,  *ナノピラー ,  *立体

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 剥離層 ,  埋め込み ,  ピラー ,  作製 ,  光学 ,  評価