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J-GLOBAL ID：201102253723630962   整理番号：11A0580360

Alナノ薄膜のクリープ特性の膜厚依存性

著者 (6件)： 福原直道 (大阪大 大学院工学研究科) ,  味岡彰一 (大阪大 大学院工学研究科) ,  平方寛之 (大阪大) ,  米津明生 (大阪大) ,  崎原雅之 (大阪大) ,  箕島弘二 (大阪大)
資料名： 日本機械学会M&M材料力学カンファレンス(CD-ROM)  (日本機械学会M&M材料力学カンファレンス講演論文集(CD-ROM))
巻： 2010  ページ： ROMBUNNO.1505  発行年： 2010年10月08日 
JST資料番号： L0191B  ISSN： 2424-2845  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 膜厚がナノメートルからサブミクロンメートルオーダーである金属薄膜のクリープ特性を評価するため,自立薄膜試験片の作製法,および引張クリープ試験法を開発した。本手法を用いて,膜厚約200nm,および約370nmのAl薄膜に対するクリープ試験を実施した。本薄膜は,いずれも遷移クリープ,定常クリープ,および加速クリープからなる典型的なクリープ挙動を示した。定常クリープ速度は,負荷応力とともに増加し,バルク材で見られるNorton則が概ね成立した。また,両膜厚の定常クリープ特性に有意差は見られなかった。(著者抄録)

シソーラス用語： *アルミニウム ,  ナノ構造 ,  *薄膜 ,  *クリープ強さ ,  膜厚 ,  依存性 ,  微細構造 ,  引張試験 ,  試験片 ,  ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  電子ビーム蒸着 ,  レーザ応用 ,  形状測定

分類 (2件)： 金属材料  (HC06020Z) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： Al ,  ナノ薄膜 ,  クリープ特性 ,  膜厚依存性