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J-GLOBAL ID：201102258328531035   整理番号：11A0467186

熱インプリンティングプロセスを用いた蛾眼反射防止ナノ構造を有するマイクロレンズアレイの製作

Fabrication of micro-lens arrays with moth-eye antireflective nanostructures using thermal imprinting process

著者 (3件)： OH S.S. (Electronics and Telecommunications Res. Inst. (ETRI), Daejeon, KOR) ,  CHOI C.-G. (Electronics and Telecommunications Res. Inst. (ETRI), Daejeon, KOR) ,  KIM Y.-S. (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 87  号： 11  ページ： 2328-2331  発行年： 2010年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (8件)： インプリンティング ,  プロセス ,  蛾 ,  眼 ,  反射防止 ,  ナノ構造 ,  マイクロレンズアレイ ,  製作