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J-GLOBAL ID：201102260072554045   整理番号：11A1513909

ホローマグネトロンRFプラズマ中ZnOナノロッド形成に対する放電パラメータ依存性

Dependence of ZnO Nanorods Formation on Discharge Parameters inHollow Magnetron RF Plasma

著者 (2件)： KUMETA Keisuke (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  IIZUKA Satoru (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM)  (プラズマプロセシング研究会(CD-ROM))
巻： 27th  ページ： ROMBUNNO.P2-30  発行年： 2010年 
JST資料番号： L4449B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ナノロッド ,  プラズマ合成 ,  *酸化亜鉛 ,  プラズマ化学反応 ,  酸化 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  スパッタリング ,  *プラズマCVD ,  N型半導体 ,  プラズマ分光 ,  原子スペクトル ,  発光スペクトル ,  亜鉛 ,  Ramanスペクトル
準シソーラス用語： RFプラズマ ,  SEM【顕微鏡】 ,  パラメータ依存性 ,  プラズマスパッタリング ,  プラズマ酸化 ,  放電パラメータ

分類 (1件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I)

タイトルに関連する用語 (4件)： RFプラズマ ,  ZnOナノロッド ,  放電 ,  パラメータ依存性