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J-GLOBAL ID：201102263241162843   整理番号：11A0580358

めっき銅薄膜の結晶粒界性状と強度物性

著者 (4件)： 村田直一 (東北大 大学院) ,  玉川欣治 (東北大 工) ,  鈴木研 (東北大 工) ,  三浦英生 (東北大 工)
資料名： 日本機械学会M&M材料力学カンファレンス(CD-ROM)  (日本機械学会M&M材料力学カンファレンス講演論文集(CD-ROM))
巻： 2010  ページ： ROMBUNNO.1503  発行年： 2010年10月08日 
JST資料番号： L0191B  ISSN： 2424-2845  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 銅薄膜はその優れた電気・熱伝導性から幅広い寸法範囲における配線材料として積極的に使用されている。特に電解めっき法は容易でかつ安価なことから幅広く活用されている。しかしながら,めっき銅薄膜はめっき条件と熱履歴に依存して強度物性が脆性的なものから延性的なものまで複雑に変化する。特に疲労破壊寿命はこの性質の変化で大きく変化する。そこでこの強度物性支配因子として結晶粒界性状に着目し,電子線回折法に基づく定量的な評価手法を提案した。(著者抄録)

シソーラス用語： めっき皮膜 ,  *銅めっき ,  *結晶粒界 ,  疲れ ,  電子回折 ,  後方散乱 ,  電子回路 ,  熱処理 ,  破壊強さ ,  結晶方位 ,  残留応力 ,  結晶構造 ,  *機械的性質 ,  脆性

分類 (2件)： 金属材料  (HC05020S) ,  電気めっき  (WC08023B)

タイトルに関連する用語 (5件)： めっき ,  銅薄膜 ,  結晶粒界 ,  性状 ,  物性