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J-GLOBAL ID：201102265344886800   整理番号：11A1040064

改良CSDによるBaTiO₃薄膜の微細組織と電気的性質

Microstructure and electrical properties of BaTiO₃ thin films by modified CSD

著者 (6件)： NAGASAKA Masaomi (Dep. of Materials Sci. and Chemical Engineering, Shizuoka Univ.) ,  IWASAKI Dai (Dep. of Materials Sci. and Chemical Engineering, Shizuoka Univ.) ,  SAKAMOTO Naonori (Dep. of Materials Sci. and Chemical Engineering, Shizuoka Univ.) ,  FU Desheng (Graduate School of Sci. and Technol., Shizuoka Univ.) ,  WAKIYA Naoki (Dep. of Materials Sci. and Chemical Engineering, Shizuoka Univ.) ,  SUZUKI Hisao (Graduate School of Sci. and Technol., Shizuoka Univ.)
資料名： Journal of the Ceramic Society of Japan  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 119  号： 1390  ページ： 498-501 (J-STAGE)  発行年： 2011年 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 1882-0743  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 溶液氷水浴中で部分加水分解TiアルコキシドとBa前駆体が反応し,高度に重合したBT前駆体溶液が生成する改良CSDにより,0.3M BaTiO₃(BT)前駆体溶液を作製した。(100)配向LaNiO₃(LNO)薄膜電極有無のPt/Ti/SiO₂/Si基板にBT前駆体溶液をスピンコーティングした。さらに,O₂雰囲気中,600°Cにおける予焼なましの影響を,異なる焼なまし過程で堆積したBT薄膜の電気的性質を測定して評価した。その結果,600°C予焼なましおよびLNO薄膜電極は,部分加水分解法により前駆体から作製したBT薄膜の電気的性質の向上に有効であることが判明した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *チタン酸バリウム ,  *薄膜成長 ,  溶液成長 ,  水 ,  前駆体 ,  膜電極 ,  ニッケル酸塩 ,  ランタン化合物 ,  スピンコーティング ,  焼なまし ,  加水分解 ,  微細構造 ,  電気的性質 ,  アルコラート ,  チタン化合物 ,  熱重量分析 ,  示差熱分析 ,  X線回折 ,  結晶構造 ,  相組成 ,  磁気的性質 ,  誘電率 ,  走査電子顕微鏡 ,  氷水
準シソーラス用語： CSD法 ,  LNO ,  金属アルコキシド ,  微細組織

分類 (2件)： 絶縁材料  (NA04030W) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

引用文献 (11件)：

• 1) U. Chon, H. M. Jang, M. G. Kim and C. H. Chang, Phys. Rev. Lett., 89, 087601 (2002).
• 2) H. Nagata, S. W. Ko, E. Hong, C. A. Randall and S. Trolier-McKinstry, J. Am. Ceram. Soc., 89, 2816–2821 (2006).
• 3) A. Ianculescu, M. Gartner, B. Despax, V. Bley, Th. Lebey, R. Gavrila and M. Modreanu, Appl. Surf. Sci., 253, 344–348 (2006).
• 4) L. Qiao and X. Bi, J. Cryst. Growth, 310, 2780–2784 (2008).
• 5) C. Li, D. Cui, Y. Zhou, H. Lu, Z. Chen, D. Zhang and F. Wu, Appl. Surf. Sci., 136, 173–177 (1998).

タイトルに関連する用語 (5件)： CSD ,  BaTiO3 ,  薄膜 ,  微細組織 ,  電気的性質