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J-GLOBAL ID：201102268378027660   整理番号：11A1074483

原子的に平坦化したSi(111)表面の階段端に沿った有機シラン分子の選択吸着

Selective Adsorption of Organosilane Molecules Along Step Edges of Atomically Flattened Si(111) Surfaces

著者 (6件)： SAKANE Hiroki (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YOSHIMATSU Akina (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SHIGETOSHI Takushi (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  UCHIKOSHI Junichi (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MORITA Mizuho (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  ARIMA Kenta (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 11  号： 4  ページ： 2962-2967  発行年： 2011年04月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 弗化水素処理後の微斜面Si(111)ウエハを超低溶存酸素水中に浸して平坦なSi(111)表面を形成した。Si表面の階段端に沿ってCu線を形成するためにCu含有溶液で前処理し,有機シラン[3-アミノプロピルトリエトキシシラン(APTES)とオクタデシルトリクロロシラン(OTS)]を選択吸着させた。階段端でAPTESとOTSの分子はそれぞれ分散クラスタ及び隆起列として吸着した。この違いの原因は不明であるが,重要な因子は環境中の含水量の制御にあると考えられる。ナノ規模素子や工程への応用についても触れた。

シソーラス用語： 平坦性 ,  *吸着 ,  シラン誘導体 ,  *有機ケイ素化合物 ,  *表面ステップ ,  表面改質 ,  酸化 ,  脂肪族アミン ,  第一アミン ,  局所酸化 ,  *選択吸着 ,  有機シラン

分類 (1件)： 物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P)

物質索引 (2件)： 3-アミノプロピルトリエトキシシラン ,  オクタデシルトリクロロシラン

タイトルに関連する用語 (7件)： 原子 ,  平坦化 ,  Si ,  階段 ,  有機シラン ,  分子 ,  選択吸着