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J-GLOBAL ID：201102271419379119   整理番号：11A0870985

水蒸気・水混合噴流の物理的作用の実験的評価(ドライエッチング残渣除去・レジスト剥離・金属壊食)

著者 (6件)： 益子岳史 (静岡大 工) ,  真田俊之 (静岡大 工) ,  橋本健太郎 (静岡大 大学院工学研究科) ,  堀邊英夫 (金沢工大) ,  林田充司 (アクアサイエンス) ,  渡部正夫 (北大 大学院工学研究院)
資料名： 混相流  (Japanese Journal of Multiphase Flow)
巻： 24  号： 5  ページ： 703-709  発行年： 2011年03月15日 
JST資料番号： L2494A  ISSN： 0914-2843  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 洗浄液を使用せずかつ洗浄力制御の可能性を有する新規の洗浄技術として水蒸気と水の混合噴流を用いた洗浄手法が既に提案されている。この洗浄手法の適用例の1つとしてドライエッチング残渣除去法について報告した。ドライエッチングプロセス終了後の残渣である変性高分子が水蒸気・水の混合噴流により除去されることを示した。更に空気・水の混合噴流との比較から本手法が有効である主な原因が水蒸気に由来する噴流の物理的作用にあることを示唆した。次にその作用の詳細を調べる目的で実施したレジスト剥離及び金属壊食の2実験の結果について報告した。レジスト剥離及び壊食の程度が低水流量領域では水流量と共に増加するが高水流量領域では水流量に依存しなくなる傾向を観察した。

シソーラス用語： 水蒸気 ,  水 ,  混合 ,  *洗浄力 ,  キャラクタリゼーション ,  ドライエッチング ,  *残留物 ,  フォトレジスト ,  浸食 ,  噴流 ,  *合成噴流
準シソーラス用語： 壊食

分類 (3件)： 噴流  (BC02080F) ,  集塵  (XD02100D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• HATTORI, T. Non-Aqueous/Dry Cleaning Technology without Causing Damage to Fragile Nano-Structures. ECS Trans. 2009, 25, 5, 3-14
• SANADA, T. Development of Cleaning Technique by Using Spray Mixed with Steam and Water. J. Jet Flow Eng. 2007, 24, 3, 4-10
• WATANABE, M. Cleaning Technique Using High-Speed Steam-Water Mixed Spray. Solid State Phenom. 2009, 145-146, 43-46
• SANADA, T. Post Ion-Implant Photoresist Stripping Using Steam and Water : Pre-Treatment in a Steam Atmosphere and Steam-Water Mixed Spray. Solid State Phenom. 2009, 145-146, 273-276
• MASHIKO, T. Impact of Steam-Water Mixed Spray on Silicon and Metal Surfaces. ECS Trans. 2009, 25, 5, 233-240

タイトルに関連する用語 (10件)： 水蒸気 ,  水 ,  噴流 ,  物理 ,  実験 ,  評価 ,  ドライエッチング ,  残渣 ,  レジスト ,  壊食