文献

J-GLOBAL ID：201102276713980787   整理番号：11A1521284

ワイヤボンディングに使用されるAl-1Siワイヤのせん断と疲れ特性

Tensile and Fatigue Behavior of Al-1Si Wire Used in Wire Bonding

著者 (6件)： DANAHER F. D. (Arizona State Univ., Materials Sci. and Engineering, 85287-6106, Tempe, AZ, USA) ,  DANAHER F. D. (RF, Analog, and Sensors Group, Freescale Semiconductor Inc., Radio Frequency Div., 85284, Tempe, AZ, USA) ,  WILLIAMS J. J. (Arizona State Univ., Materials Sci. and Engineering, 85287-6106, Tempe, AZ, USA) ,  SINGH D. R. P. (Arizona State Univ., Materials Sci. and Engineering, 85287-6106, Tempe, AZ, USA) ,  JIANG L. (Arizona State Univ., Materials Sci. and Engineering, 85287-6106, Tempe, AZ, USA) ,  CHAWLA N. (Arizona State Univ., Materials Sci. and Engineering, 85287-6106, Tempe, AZ, USA)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 40  号： 6  ページ： 1422-1427  発行年： 2011年06月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,Al-1Siマイクロエレクトロニクスワイヤの機械的性質を調べた。このワイヤの微細構造を調べ,Al-Si介在物の分布を評価した。このワイヤは直径63.3±0.1μmで,それらを製作するために使われた熱間押し出プロセスにより伸びた結晶構造を有した。横方向粒径は測定の結果1.1±0.3μmであった。デュアルビーム集束イオンビーム(FIB)により結晶構造の異方性が認められた。各種ゲージ長で実験を行い,Young率を測定した。測定したYoung率は71.7±6.1GPaでバルクAl-Siと同様であった。多くのワイヤについて強度を測定し,Weibull統計により可変性を評価した。このワイヤは200MPaよりわずかに少ない強度を持ち,故障する歪は2%以上であった。Weibull係数は110で,このデータは非常に低い可変性であることが分かった。10⁶サイクルに耐えた試料は処理したままの材料に対して大幅な強度低下を示した。破面検査により,単一点でのくびれにより大量の塑性流と破壊が見られた。Copyright 2011 TMS Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ワイヤボンディング ,  *アルミニウム合金 ,  ケイ素添加合金 ,  微細構造 ,  機械的性質 ,  *剪断強さ ,  *疲れ強さ ,  熱間押出 ,  Young率 ,  Weibull分布 ,  破面検査 ,  塑性流 ,  結晶構造

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  金属材料  (HC05020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： ワイヤボンディング ,  Al ,  ワイヤ ,  せん断 ,  疲れ特性