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J-GLOBAL ID：201102293451896820   整理番号：11A1295299

フォトレジスト膜中での中空円筒の連続波レーザによる作製

Hollow Tube Fabrication in Photoresist Film Using Continuous Wave Laser

著者 (2件)： TOMIYASU Masateru (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  EGAMI Chikara (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名： Optical Review  (Optical Review)
巻： 18  号： 4  ページ： 357-359  発行年： 2011年08月01日 
JST資料番号： L2272A  ISSN： 1340-6000  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,三次元(3D)ミクロン/サブミクロン構造の連続波(CW)レーザによる作製の研究である。非線形光学特性を有するフォトレジスト膜中に,垂直と水平の中空円筒を形成した。フォトレジストの反応時定数を操作するために,ビーム強度とドーズ量を制御し,3D中空構造を高いコントラストで作製した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *フォトレジスト ,  非線形光学材料 ,  *レーザ加工 ,  光学顕微鏡法 ,  共焦点顕微鏡

分類 (1件)： 非線形光学  (BD05000T)

引用文献 (5件)：

• TANAKA, T. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 312
• KONDO, T. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 2760
• FRITZE, M. Opt. Lett. 1998, 23, 141
• EGAMI, C. Opt. Commun. 2007, 280, 188
• EGAMI, C. Proc. SPIE. 2009, 7522, 75225G

タイトルに関連する用語 (4件)： フォトレジスト膜 ,  中空円筒 ,  連続波レーザ ,  作製