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J-GLOBAL ID：201102293780744267   整理番号：11A1135255

チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術

Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Reflow for Chip Scale Atomic Magnetometer

著者 (5件)： 辻本和也 (京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室) ,  平井義和 (京都大学学際融合教育研究推進センター先端医工学研究ユニット) ,  菅野公二 (京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室) ,  土屋智由 (京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室) ,  田畑修 (京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 131  号： 7  ページ： 251-257 (J-STAGE)  発行年： 2011年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,原子スピン偏極を利用して従来よりも微弱な10^-15Tオーダの磁場を測定可能な原子磁気センサ(AMM)が注目されている。本論文では,幅広い応用分野での活躍が期待されるチップスケールのAMM(CSAM)のセンシングの核となるセル内の雰囲気制御性の向上を目指した新規なMEMS気密封止技術を提案した。提案手法は,セル内で固体試料の化学反応によりアルカリ金属を生成する手法の利点に着目し,接合界面に形成した犠牲マイクロ流路を,不要な気体の排気,続くバッファガスの封入に用いた後,ガラスフリットのリフローにより封じきるものである。

シソーラス用語： *磁気センサ ,  原子 ,  *MEMS ,  *アルカリ金属 ,  フリット ,  ガラス ,  *ハーメチックシール ,  ヘリウム ,  検査 ,  チャネル ,  磁場測定 ,  層 ,  微細加工 ,  マイクロチャネル
準シソーラス用語： 原子磁気センサ ,  漏れ試験 ,  マイクロ流路 ,  犠牲層

分類 (2件)： 磁気の計測法・機器  (AD07060U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (19件)：

• (1) I. Kominis, T. Kornack, J. Allred, and M. Romalis : “A subfemtotesla multichannel atomic magnetometer”, Nature (London), Vol. 422, pp. 596-599 (2003)
• (2) J. Kitching, S. Knappe, V. Shah, P. Schwindt, C. Griffith, R. Jimenez, J. Preusser, L. -A. Liew, and J. Moreland : “Microfabricated atomic magnetometers and applications”, Frequency Control Symposium 2008, pp. 789-794 (2008)
• (3) S. Xing, D. Haifeng, and F. Jiancheng : “Chip scale atomic magnetometer based on SERF”, 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), pp. 231-234 (2009)
• (4) L. Nieradko, C. Gorecki, A. Douahi, V. Giordano, J. C. Beugnot, J. Dziuban, and M. Moraja : “New approach of fabrication and dispensing of micromachied cesium vapor cell”, Journal of Micro/Nanolithography MEMS MOEMS, Vol. 7, No. 3, 033013 (2008)
• (5) L. Liew, S. Knappe, J. Moreland, H. Robinson, L. Hollberg, and J. Kitching : “Micromachined alkali atom vapor cells for chip-scale atomic clocks”, 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems 2004 (MEMS2004), pp. 113-116 (2004)

タイトルに関連する用語 (6件)： スケール ,  原子 ,  磁気センサ ,  犠牲 ,  マイクロ流路 ,  気密封止