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J-GLOBAL ID：201102298283600105   整理番号：11A0437570

Ar熱プラズマジェットによる照射を受けた基質表面の加熱特性に関するHe添加の効果

Effect of He addition on the heating characteristics of substrate surface irradiated by Ar thermal plasma jet

著者 (6件)： OKADA T ,  HIGASHI S ,  KAKU H ,  KOBA N ,  MURAKAMI H ,  MIYAZAKI S
資料名： THIN SOLID FILMS
巻： 516  号： 11  ページ： 3680-3683  発行年： 2008年 
JST資料番号： O6387A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： Ar ,  プラズマジェット ,  基質 ,  He