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J-GLOBAL ID：201102298326881324   整理番号：11A1860542

窒素含有ダイヤモンドライクカーボン被膜の熱電変換特性の評価

Evaluation of Thermoelectric Conversion Performance of the Nitrogen-Containing Diamond Like Carbon Thin Films

著者 (3件)： 中村雅史 (茨城大 工) ,  原口忠男 (茨城大 工) ,  内山賢 (茨城大 大学院理工学研究科)
資料名： 日本機械学会論文集 B編(Web)  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series B (Web))
巻： 77  号： 782  ページ： 2028-2036 (WEB ONLY)  発行年： 2011年 
JST資料番号： U0183A  ISSN： 1884-8346  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では窒素含有量を変えたDLC被膜について,その熱電特性とそれに係わる半導体特性および化学構造について調べ,これらの関連性について検討した。DLC被膜のゼーベック係数および比抵抗は窒素含有量が約4.0at.%までは減少し,それ以上では同程度となる。また,PFは398.2K以下の温度では窒素含有量が多いほどが大きくなる。ホール効果測定より,窒素含有量の違いによるゼーベック係数や比抵抗の違いはキャリア密度,キャリア移動度の関数で整理されることがわかった。化学構造解析により,窒素含有量の違いによるキャリア密度,キャリア移動度の違いはa-Cからta-Cへの構造変化が要因のひとつであると示唆された。(著者抄録)

シソーラス用語： 炭素材 ,  非晶質 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  DLC膜 ,  *熱電気変換 ,  半導体 ,  Hall効果 ,  含有量 ,  窒素 ,  廃熱回収 ,  Seebeck係数
準シソーラス用語： 窒素含有量 ,  *特性評価

分類 (1件)： 熱電デバイス  (NC03090J)

引用文献 (24件)：

• (1) 鈴木秀人,中村雅史,曙紘之,金鷹,石田誠,“テイラーメイド表面改質による危機回避機能の発現(乗り上がり脱線回避車輪の創製)”,日本機械学会論文集A編,Vol. 73,No. 727 (2007),pp. 419-425.
• (2) 野村博郎,曙紘之,鈴木秀人,“DLC複合表面改質によるアルミニウム合金の摩耗特性と疲労特性の改善”,日本機械学会論文集A編,Vol. 72,No. 718 (2006),pp. 907-913.
• (3) 森田辰郎,冨田幸太,加賀谷忠治,熊切正,池永勝,“DLC被覆処理を施したステンレス鋼の疲労特性”,日本機械学会論文集A編,Vol. 72,No. 722 (2006),pp. 1550-1555.
• (4) (財)近畿高エネルギー加工技術研究所ドライコーティング研究会編,DLC 成膜技術 (2007),p. 3-4,日刊工業新聞社.
• (5) M. Rusop, X. M. Tian, T. Kinugawa, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno, “Preparation and characterization of boron-incorporated amorphous carbon films from a natural source of camphoric carbon as a precursor material”, Applied Surface Science, Vol. 252 (2005), pp. 1693-1703.

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒素 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  被膜 ,  熱電変換 ,  評価