特許
J-GLOBAL ID：201103000160547719
試料検査のための方法
ゴールデンシュタイン, アレックス
, ゴールデンシュタイン, アレックス について
ベン-アヴ, ラデル
, ベン-アヴ, ラデル について
パール, アッシャー
, パール, アッシャー について
ペトロヴ, イゴール
, ペトロヴ, イゴール について
ハース, ナダヴ
, ハース, ナダヴ について
アダメック, パフェル
, アダメック, パフェル について
ゴールド, ヤロン, アイ.
ゴールド, ヤロン, アイ. について
出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 , 山田 行一 , 鈴木 康仁
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-545339
特許番号：特許第3916464号
出願日： 1999年12月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 荷電粒子のビームを用いて、試料の固体面の微細構造を検査するための方法であって、
a)ビームを第1の入射角で試料の表面に当て、試料上でビームを走査して、第1の画像をつくるステップと、
b)ビームをティルト(傾斜)させ、またこのティルトしたビームに相当する位置に試料を移動させて、ビームを第2の入射角で試料の表面に当てて、ビームのティルトにより生じたビームの位置ズレを基本的に補正するステップであって、ビームのティルトは、対物レンズの光軸から離れるようにビームを偏向させる操作と試料上へビームを集光する操作との組み合わせにより実現される前記ステップと、
c)ビームを第2の入射角で試料の表面に当て、試料上でビームを走査して、第2の画像をつくるステップと
を有する方法。
IPC (7件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01B 15/00 ( 200 6.01)
, G01N 23/225 ( 200 6.01)
, H01J 37/145 ( 200 6.01)
, H01J 37/147 ( 200 6.01)
, H01J 37/153 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
FI (8件)：
H01L 21/66 J
, H01L 21/66 C
, G01B 15/00 B
, G01N 23/225
, H01J 37/145
, H01J 37/147 B
, H01J 37/153 B
, H01J 37/28 B
引用特許：
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