ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野口恭弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-144696
公開番号（公開出願番号）：特開2011-209670
出願日： 2010年06月25日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：

【課題】ITOスパッタ適性、硬度及び耐熱透明性に優れる硬化膜が得られるポジ型感光性樹脂組成物、並びに、それを用いた硬化膜形成方法を提供すること。【解決手段】(成分A)酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、(成分B)式(1)又は式(2)で表される酸発生剤、及び、(成分C)増感剤、を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。R5、R6及びR7はそれぞれ独立に、置換基を有していてもよい、アルキル基又は芳香族基を表し、アルキル基の場合、互いに連結し環を形成してもよく、R8及びR9はそれぞれ独立に、置換基を有していてもよい芳香族基を表し、X-は共役塩基を表す。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(成分A)酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、 (成分B)式(1)又は式(2)で表される酸発生剤、及び、 (成分C)増感剤、を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 , H01L 21/027 , H01L 51/50 , H05B 33/10 , H05B 33/22

FI (7件)：

G03F7/039 601 , G03F7/004 503A , G03F7/004 503Z , H01L21/30 502R , H05B33/14 A , H05B33/10 , H05B33/22 Z

Fターム (66件)：

2H090HB07X , 2H090HC05 , 2H090HC11 , 2H090HC13 , 2H090HD01 , 2H125AE13P , 2H125AE15P , 2H125AE18P , 2H125AF14P , 2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF20P , 2H125AF26P , 2H125AF27P , 2H125AF33P , 2H125AF35P , 2H125AF45P , 2H125AH05 , 2H125AH06 , 2H125AH07 , 2H125AH12 , 2H125AH13 , 2H125AH19 , 2H125AJ04Y , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ44Y , 2H125AJ63X , 2H125AJ63Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ64Y , 2H125AJ85Y , 2H125AM26P , 2H125AM27P , 2H125AN23P , 2H125AN29P , 2H125AN36P , 2H125AN39P , 2H125AN41P , 2H125AN55P , 2H125AN82P , 2H125AN85P , 2H125AN89P , 2H125AN92P , 2H125AN93P , 2H125BA01P , 2H125BA05P , 2H125BA11P , 2H125BA22P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA24 , 2H125CB03 , 2H125CB05 , 2H125CB06 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC05 , 3K107CC24 , 3K107DD90 , 3K107DD97 , 3K107GG06 , 3K107GG28

引用特許：

審査官引用 (3件)

パターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-028876 出願人：JSR株式会社
レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-023212 出願人：住友化学工業株式会社
遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-402246 出願人：富士写真フイルム株式会社

前のページに戻る