特許
J-GLOBAL ID：201103000250197431
水中の有機物の分解方法及び分解装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内山 充
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362554
公開番号（公開出願番号）：特開2001-170663
特許番号：特許第4465696号
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体製造工程又は液晶製造工程で発生したリンス排水をpHを7〜10に調整し、温度を45〜60°Cに調整して、加温されたpH7〜10のリンス排水を得て、該排水に排水中の有機体炭素の2〜20重量倍の過酸化水素と、同じく2〜20重量倍のオゾンを添加して、反応槽又は反応塔でリンス排水中に含まれる有機物を酸化分解し、有機物が酸化分解されたリンス排水を酸化剤分解触媒を充填した反応槽又は充填塔に通水して、リンス排水中に残存する過酸化水素とオゾンを酸化剤分解触媒により分解除去処理して、半導体製造工程又は液晶製造工程で発生したリンス排水からの処理水を回収し、該処理水を、イオン交換塔を経由することなく直接再利用することを特徴とするリンス排水中の有機物の分解方法。
IPC (3件)：
C02F 1/72 ( 200 6.01)
, C02F 1/58 ( 200 6.01)
, C02F 1/78 ( 200 6.01)
C02F 1/72 Z
, C02F 1/58 H
, C02F 1/78
