特許
J-GLOBAL ID：201103000901818324
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津川 友士
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-333223
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141405
特許番号：特許第3724361号
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板(7)の周縁部を複数箇所で把持し、この状態で基板(7)を搬送する装置であって、所定形状の平板部材(2)と、平板部材(2)の所定位置に設けられ、基板(7)の周縁部と係合可能なV字状の溝(3a)を有する少なくとも1つの固定係合部材(3)と、平板部材(2)の他の所定位置に設けられ、基板(7)の周縁部と係合可能なV字状の溝(4a)を有し、把持された基板(7)の略中心に向かって往復動作可能に構成された少なくとも1つの可動係合部材(4)と、平板部材(2)の他の所定位置に設けられ、可動係合部材(4)による係合位置に近接する所定位置と係合すべく把持された基板(7)の略中心に向かって往復動作可能に構成され、かつ基板(7)の周縁部とほぼ直交する係合面(6a)を有する補助係合部材(6)と、可動係合部材(4)および補助係合部材(6)を互いに独立して動作させる駆動部と、平板部材(2)の、固定係合部材(3)、可動係合部材(4)と近接する所定位置に設けられ、かつ把持された基板(7)の略中心に向かって徐々に低くなるテーパ面を有する傾斜面部材(5)と、を含むことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/08
, B65G 49/07
H01L 21/68 S
, H01L 21/68 A
, B25J 15/08 K
, B65G 49/07 E
