ダイヤフラムバルブ、基板処理ユニットおよび基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：吉田茂明 , 吉竹英俊 , 有田貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-384614
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185053
特許番号：特許第3990567号
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】液体が流入する1つの流入口と該液体が流出する1つの流出口とを有するダイヤフラムバルブであって、前記流入口から前記流出口に至る流路に設けられた弁座に密着することによって前記流路を閉鎖することとと前記弁座から離間することによって前記流路を開放することとが可能な開閉用ダイヤフラムと、前記流路を閉鎖する閉状態と前記流路を開放する開状態との間で前記開閉用ダイヤフラムを作動させる作動手段と、前記開閉用ダイヤフラムよりも前記流路の前記流出口側に設けられ、前記開閉用ダイヤフラムと略同一形状を有する補償用ダイヤフラムと、前記開閉用ダイヤフラムと前記補償用ダイヤフラムとを連結するリンク棒と、を備え、前記作動手段によって前記開閉用ダイヤフラムが前記流路を閉鎖するときには前記開閉用ダイヤフラムと前記リンク棒を介して機械的に連動する前記補償用ダイヤフラムが前記流路のうち前記開閉用ダイヤフラムよりも前記流出口側の二次側流路の容積を増加し、前記開閉用ダイヤフラムが前記流路を開放するときには前記補償用ダイヤフラムが前記二次側流路の容積を減少するように作動することを特徴とするダイヤフラムバルブ。

IPC (5件)：

F16K 31/126 ( 200 6.01) , B05C 11/10 ( 200 6.01) , B08B 3/02 ( 200 6.01) , F16K 7/17 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (5件)：

F16K 31/126 Z , B05C 11/10 , B08B 3/02 B , F16K 7/17 A , H01L 21/30 564 C

引用特許：

出願人引用 (2件)

背圧制御弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-276942 出願人：アドバンス電気工業株式会社
サックバックバルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-244600 出願人：エスエムシー株式会社

審査官引用 (1件)

背圧制御弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-276942 出願人：アドバンス電気工業株式会社

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