特許
J-GLOBAL ID：201103001716116670
不純物濃度測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-068069
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324439
特許番号：特許第4578705号
出願日： 2001年03月12日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (a)測定点に位置する探針を測定試料に所定距離だけ近づける工程と、
(b)前記測定試料に印加する電圧を変化させて前記探針に流れるトンネル電流と前記測定試料に印加する電圧との関係を示す電流-電圧特性を測定する工程と、
(c)定電流モードで前記探針を前記測定試料の面に平行な方向に走査してSTM測定を行い、その結果から接触痕の有無を判定する工程とを有し、
前記(a)〜(c)の工程を繰り返し、前記接触痕があると判定したときの前記電流-電圧測定測定時における前記探針の位置から原点を決定し、
前記原点から各電流-電圧特性測定時における前記探針の位置までの距離を求め、
前記原点から前記電流-電圧特性測定時における前記探針の位置までの距離と前記電流-電圧特性の測定結果とに基づいて不純物濃度を求めることを特徴とする不純物濃度測定方法。
IPC (2件)：
G01Q 60/12 ( 201 0.01)
, G01Q 60/14 ( 201 0.01)
G01N 13/12 101 A
, G01N 13/12 101 B
