真空排気システムおよびその運転方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人有古特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289183
公開番号（公開出願番号）：特開2003-097427
特許番号：特許第4443080号
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】チャンバの内部に連通するように第1の排気路が設けられ、前記第1の排気路に上流側から順に第1の開閉バルブ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプが設けられた真空排気システムであって、前記真空排気システムは制御装置を備え、前記制御装置は、前記第1の開閉バルブを閉じた状態で前記ロータリポンプおよび前記メカニカルブースタポンプを起動させ、ついで前記メカニカルブースタポンプを停止させて前記第1の開閉バルブを開かせ、その後前記メカニカルブースタポンプを再起動させるように構成されている、真空排気システム。

IPC (2件)：