特許
J-GLOBAL ID：201103002136811009

クリーンボックス、クリーン搬送方法及びシステム

発明者：
宮嶋 俊彦

宮嶋 俊彦 について

, 
岡部 勉

岡部 勉 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外10名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-124167
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315725
特許番号：特許第3461140号
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一面に開口を有するボックス本体と、該開口を閉鎖するための蓋部材と、ボックス本体又は蓋部材の少なくとも一方に前記開口を取り囲むように形成された、蓋部材がボックス本体に装着された状態で蓋部材とボックス本体との間で密閉された吸着用空間を画成する環状溝と、前記ボックス本体から前記蓋部材を開閉するためのボックス蓋開閉機構を有するロードポートと前記蓋部材との間に設けられ、前記ロードポートに対して前記蓋部材の位置合わせを行う位置合わせ手段と、前記位置合わせ手段を基準として前記ロードポートに対し位置合わせがなされるよう前記蓋部材に形成され、前記環状溝で画成される前記吸着用空間を前記ボックス蓋開閉機構より真空排気/真空解除するための吸排気口手段とを有したことを特徴とするクリーンボックス。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B65D 53/00 ,  B65D 85/86
FI (3件)：
H01L 21/68 T ,  B65D 53/00 Z ,  B65D 85/38 R
引用特許：
審査官引用 (4件)
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