特許

J-GLOBAL ID：201103002142250167

フルオレン誘導体および感光性樹脂組成物

発明者： 村瀬 裕明 ,  緒方 和幸 ,  宮内 信輔 ,  川崎 真一 ,  本河 卓也
出願人/特許権者： 大阪瓦斯株式会社
代理人 (2件)： 鍬田 充生 ,  阪中 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-285947
公開番号（公開出願番号）：特開2011-085951
出願日： 2010年12月22日
公開日（公表日）： 2011年04月28日
要約：

【課題】レジストの感度や解像度を著しく向上できる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】新規なフルオレンポリカルボン酸エステル(例えば、ビス(C1-4アルコキシカルボニル)-9,9-ビス(C1-4アルコキシカルボニル-C1-6アルキル)フルオレン類、ビス(C1-4アルコキシカルボニル)-9,9-ビス(C1-4アルコキシカルボニル-C5-8シクロアルキル)フルオレン類、ビス(C1-4アルコキシカルボニル)-9,9-ビス(C1-4アルコキシカルボニル-C6-10アリール-C1-4アルキル)フルオレン類、9,9-ビス[1,2-ジ(C1-4アルコキシカルボニル)エチル]-フルオレン類など)と、ベース樹脂と、感光剤(光酸発生剤など)とで感光性樹脂組成物を構成する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表されるフルオレン誘導体と、ベース樹脂と、感光剤とで構成された感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F7/004 531 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (16件)：

2H125AF17P ,  2H125AF35P ,  2H125AH06 ,  2H125AH13 ,  2H125AJ04X ,  2H125AJ48X ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AN39P ,  2H125CA12 ,  2H125CB08 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76

引用特許：

審査官引用 (4件)

• フルオレンジカルボン酸エステルおよび感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-328519   出願人：大阪瓦斯株式会社
• フルオレン誘導体及び光活性化合物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-328520   出願人：大阪瓦斯株式会社
• ジカルボン酸化合物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-380233   出願人：アドケムコ株式会社
• 酸に不安定な溶解抑制剤、及びそれらに基づいたポジ型及びネガ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-263211   出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシヤフト

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Michael Reaction of Fluorenes with α,β-Unsaturated Esters and Ketones Catalyzed by Tetra-n-butylam