特許
J-GLOBAL ID：201103002301165273

フェニル環及びラクトン基が共存する感光性ポリマー及びレジスト組成物

発明者：
李 始 ▲けい▼

李 始 ▲けい▼ について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (5件)： 八田 幹雄 ,  野上 敦 ,  奈良 泰男 ,  齋藤 悦子 ,  宇谷 勝幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-386341
公開番号（公開出願番号）：特開2002-201223
特許番号：特許第3990150号
出願日： 2001年12月19日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記式(2): ただし、R1、R2及びR3は、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基を表わし、ならびに、l、m及びnは、それぞれ、l/(l+m+n)=0.1〜0.5、m/(l+m+n)=0〜0.5、及びn/(l+m+n)=0.4〜0.7の関係を満たす の構造を有することを特徴とする感光性ポリマー。
IPC (4件)：
C08F 20/30 ( 200 6.01) ,  C08F 12/22 ( 200 6.01) ,  G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (4件)：
C08F 20/30 ,  C08F 12/22 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
審査官引用 (7件)
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