分子ポンプ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡辺敬介 , 山口芳広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208707
公開番号（公開出願番号）：特開2001-032789
特許番号：特許第4504476号
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】動翼を有し、吸気口と排気口を有するポンプ容器内に回転自在に配置されたロータと、前記ポンプ容器内に収容され、前記動翼の間に配置される固定翼を有するステータと、前記固定翼を支持する位置に冷凍機によって冷却可能に構成された冷却ステータリングと、前記ロータ側に配置されるシールベローズと該シールベローズに非接触状態で前記ポンプ容器側に配置された断熱材と前記シールベローズの吸気口側及び排気口側のそれぞれに固着された断熱リングとから構成され、前記冷却ステータリングの排気口側に気密に連結された断熱性を有する断熱シールリングと、を有し、前記冷却ステータリングは、吸気口側及び排気口側にそれぞれ配設された断熱材を介して前記ステータに連結されるとともに、前記ロータの吸気口側端部よりも吸気口側に延長して配設され、前記動翼は、吸気口側に配置されたターボ翼と排気口側に配置されたネジ溝形状の構成とからなり、前記断熱シールリングは、前記ステータの、前記ターボ翼と前記ネジ溝形状の構成部分との連結位置に対向する部分に配設されていることを特徴とする分子ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04 ( 200 6.01)

FI (1件)：

F04D 19/04 B

引用特許：

出願人引用 (5件)

ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-352293 出願人：株式会社荏原製作所
特開平4-116295
特開昭61-207893

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審査官引用 (7件)

特開昭63-227989
ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-352293 出願人：株式会社荏原製作所
特開平4-116295

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