粒子ビームのエネルギー幅を減らすデバイスを備えた粒子ビーム発生装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華明裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269066
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100361
特許番号：特許第4106162号
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】粒子ビームを発生する源(3)と、該粒子ビームを試料(8)上に合焦させる対物レンズ(7)と、試料(8)の所で放たれた後方散乱及び/又は二次粒子(10)を受ける検出器(9)と、粒子のエネルギーに依存してその粒子ビームを単に散乱させる第1及び第2ウイーンフィルタ(1a,1b)と、或減少されたエネルギー幅内で粒子を選択する開口(4)と、を含むエネルギー幅を減少させるデバイスとを備え、 2つのウイーンフィルタ(1a,1b)の静電気的及び磁気的フィールドが複数の粒子上で反対の偏向方向に作用し、第2ウイーンフィルタ(1b)が第1ウイーンフィルタ(1a)に関して複数の粒子が、これら2つのフィルタによって偏向されて、上記源から来るかのように見えるようにするように配列し励起され、その粒子ビームの束を制限する付加の開口(5)が第1ウイーンフィルタ(1a)の前に粒子ビーム(2)の方向に並べられたことを特徴とする粒子ビーム発生装置。

IPC (2件)：

H01J 37/05 ( 200 6.01) , H01J 49/48 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01J 37/05 , H01J 49/48

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-264149
特開昭62-090839
特開平2-142045

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審査官引用 (5件)

特開平1-264149
特開昭62-090839
特開平2-142045

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