特許

J-GLOBAL ID：200903099367240395

ウェハ有無検出装置およびこれを用いた搬送ロボット装置

発明者： 山下 慎次
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-079406
公開番号（公開出願番号）：特開2005-268556
出願日： 2004年03月19日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】半導体製造装置用ロボットの先端部に装着されるエンドエフェクタ上のウェハの有無を検出するウェハ有無検出装置およびこれを用いた搬送ロボット装置において、ウェハの種類に依らずウェハの有無を検出できるようにするとともに、ウェハが周囲の障害物に衝突した場合に、ロボットのコントローラに衝突信号を送り、ロボットを停止させることによりウェハの損傷を軽減する。【解決手段】磁性体ウェハ支持ピン12Aと、この磁性体ウェハ支持ピン12Aを支持する弾性体と、弾性体と隣接した磁気センサとで構成されるウェハ検出部11および、磁気センサからの信号を処理する信号処理回路部17を備え、磁気センサからの信号の直流成分と交流成分を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

エンドエフェクタ上のウェハの有無を検出するウェハ有無検出装置において、 前記エンドエフェクタの表面上に配置されると共に、磁性体ウェハ支持ピンと、前記磁性体ウェハ支持ピンを支持する弾性体と、前記弾性体と隣接した磁気センサより構成されるウェハ検出部と、 前記磁気センサからの電気信号を処理するための信号処理回路部と、 を備えることを特徴とするウェハ有無検出装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B25J15/08 ,  B25J19/02

FI (3件)：

H01L21/68 L ,  B25J15/08 U ,  B25J19/02

Fターム (20件)：

3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007EV06 ,  3C007KS30 ,  3C007KV08 ,  3C007KX07 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA06 ,  5F031GA32 ,  5F031GA36 ,  5F031JA01 ,  5F031JA22 ,  5F031JA45 ,  5F031PA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウエハ検出用センサヘッドの取付構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-135902   出願人：サンクス株式会社

審査官引用 (3件)

• 基板搬送用フォーク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-072635   出願人：株式会社安川電機
• ワーク保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-216108   出願人：シーケーディ株式会社
• 磁気インピーダンス素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-194570   出願人：富士電機ホールディングス株式会社