特許
J-GLOBAL ID：201103003842949400

X線分析装置

発明者：
佐藤 義通

佐藤 義通 について

, 
大澤 澄人

大澤 澄人 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-209054
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033407
特許番号：特許第3655778号
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料を載置する試料ステージと、前記試料に放射線を照射する放射線源と、この放射線源による放射線照射により前記試料において生ずる特性X線を検出するX線検出器と、このX線検出器の出力に基づいて試料中に含まれる元素とその強度を判別するパルスプロセッサと、このパルスプロセッサからの信号が入力されるコンピュータと、このコンピュータからの制御信号に基づいて前記試料ステージを所定の方向に移動させるステージコントローラと、前記試料の像をモニターするためのモニター用カメラと、このモニター用カメラによる試料像を表示する表示装置とを備えたX線分析装置において、最初の測定位置の指定時、前記モニター用カメラによって得られ前記表示装置の画面上に表示されている前記試料像における測定対象箇所をクリックして試料像を画面上の測定位置に向けて移動させるとともに、そのクリックした点の座標位置を前記コンピュータに記憶させ、次いで、この移動した試料像における測定対象箇所を再度クリックしてそのクリックした点の座標位置を前記コンピュータに記憶させ、かつ、それらコンピュータに記憶された最初のクリック点の座標位置と再度クリック点の座標位置と画面上の測定位置の座標位置とに基づいて前記試料ステージを介して試料の測定対象箇所を測定位置に移動させるときの補正係数を求めるとともに、その求めた補正係数をコンピュータのメモリに記憶させ、最初の測定位置の指定後の測定に際しては、前記表示装置の画面上に表示された試料像の測定対象箇所をクリックして前記メモリに記憶されている補正係数を読み出し、その読み出した補正係数を乗じて算出した距離に見合う制御信号をステージコントローラに出力させるように構成したことを特徴とするX線分析装置。
IPC (2件)：
G01N 23/223 ,  G01N 23/225
FI (2件)：
G01N 23/223 ,  G01N 23/225
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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