ポリイミドフィルムの製造方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：楠本高義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003443
公開番号（公開出願番号）：特開2000-204178
特許番号：特許第3973311号
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ポリイミドの前駆体物質を含む有機溶媒溶液を流延塗布後加熱しゲルフィルムを形成する工程と、前記ゲルフィルムを表面処理液に浸漬する工程と、前記表面処理液に浸漬されたゲルフィルムを該表面処理液から引き上げる工程と、引き上げられた前記ゲルフィルムをフィルム端部支持手段により支持する工程と、前記ゲルフィルムの端部に圧縮気体をあてて、該ゲルフィルムの端部の前記表面処理液を除去する工程と、前記ゲルフィルムの表面の中央部分の剰余の前記表面処理液を除去ロールにより除去する工程と、さらに熱処理を施す工程とを含むことを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。

IPC (3件)：