特許

J-GLOBAL ID：201103003984375436

ポリッシングパッドコンディショナー

発明者： 大森 整
出願人/特許権者： 理化学研究所
代理人 (1件)： 堀田 実
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237745
公開番号（公開出願番号）：特開2001-062719
特許番号：特許第3387858号
出願日： 1999年08月25日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 加工面に対し先端の微少部分のみを突出させるように規則的かつ均一に配置された複数の柱状ダイヤモンド(12)と、該柱状ダイヤモンドのほぼ全量を一体に固定する円板形状の導電性ボンド部材(14)と、からなり、該導電性ボンド部材(14)は、柱状ダイヤモンド(12)を埋設するための複数の貫通穴(15a)を有する導電性金属板(15)と、該導電性金属板(15)の片面に接合して一体化された円板形状の台金(18)と、導電性金属板の貫通穴と柱状ダイヤモンドとの間隙に充填され焼結された導電性焼結金属(16)とからなり、前記複数の柱状ダイヤモンド(12)は、導電性金属板を貫通しその先端が台金と接する導電性金属板の底面に位置しており、前記導電性ボンド部材は間隔を隔てて対向した電極(22)との間に導電性液(24)を流しながら電解ドレッシングできるようになっている、ことを特徴とするポリッシングパッドコンディショナー。

IPC (2件)：

B24B 53/00 ,  B24B 53/12

FI (2件)：

B24B 53/00 D ,  B24B 53/12 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-214561
  
• ダイヤモンドドレッサーおよび柱状ダイヤモンドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-057965   出願人：旭ダイヤモンド工業株式会社
• 半導体接触電極による電解ドレッシング方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-127289   出願人：理化学研究所
• 特開昭59-214561