特許

J-GLOBAL ID：201103004303235140

基板検査装置

発明者： 金馬 利文 ,  佐竹 徹 ,  狩俣 努 ,  渡辺 賢治 ,  野路 伸治 ,  村上 武司 ,  畠山 雅規 ,  中筋 護 ,  曽布川 拓司 ,  吉川 省二 ,  大和田 伸 ,  西藤 睦
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (7件)： 社本 一夫 ,  千葉 昭男 ,  伊藤 茂 ,  星野 修 ,  神田 藤博 ,  内田 博 ,  宮前 徹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-547219
特許番号：特許第3943022号
出願日： 2001年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板検査装置であって、 a. 特定幅を有する電子線を発生させるビーム発生装置と、 b. 前記電子線を検査対象となる基板の表面に到達させる、1次電子光学系と、 c. 前記基板から発生した2次電子を捕捉して検出系へと導く、2次電子光学系と、 d. 前記検出系により得られた2次電子線の検出信号に基づいて2次電子画像を形成する画像処理系と、 e. 前記基板を少なくとも1つの自由度で連続的に移送可能に保持する、ステージと、 f. 前記基板の検査室と、 g. 前記検査室に前記基板を搬入出可能な基板搬送機構と、 h. 前記画像処理系により形成された2次電子画像に基づいて、前記検査室に搬入された基板の欠陥位置を検出可能な画像処理解析装置と、 i. 前記検査室の除振機構と、 j. 前記検査室の真空雰囲気を保持可能な真空系と、 k. 画像処理解析装置により検出された前記基板の欠陥位置を表示し及び/又は記憶する、制御系と、 を有し、 前記検出系は、2次電子による電子像を光信号に変換するファイバーオプティックプレートと、前記検査室の真空系を外部に対し密封すると共に電気信号を外部へ伝達するフィードスルー装置が設けられ、該フィードスルー装置は、電気的絶縁材料からなるフィードスルー部と、該フィードスルー部に固着され、大気側へ電気信号を取り出すための電気導入ピンと、前記フィードスルー部の前記真空雰囲気側に設けられ、前記ファイバーオプティックプレートから出力された光学像をデジタル電気信号に変換する機能素子と、該機能素子と前記電気導入ピンとを接続する配線とを有することを特徴とする、基板検査装置。

IPC (6件)：

H01J 37/29 ( 200 6.01) ,  G01N 23/04 ( 200 6.01) ,  H01J 37/18 ( 200 6.01) ,  H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  H01J 37/244 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (8件)：

H01J 37/29 ,  G01N 23/04 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/20 G ,  H01J 37/20 H ,  H01J 37/20 Z ,  H01J 37/244 ,  H01L 21/66 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ベローズ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-034170   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 観察装置およびその調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-315750   出願人：株式会社ニコン