特許
J-GLOBAL ID：201103004348475257

感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法及び半導体装置

発明者：
片岡 康浩

片岡 康浩 について

, 
渋井 智史

渋井 智史 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  小野田 浩之 ,  齋藤 都子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-025778
公開番号（公開出願番号）：特開2011-164289
出願日： 2010年02月08日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：
【課題】コーティング時の膜厚の面内均一性が良好で保存安定性が良好な感光性樹脂組成物、並びに硬化レリーフパターンの製造方法及び半導体装置の提供。【解決手段】ポリイミド構造、ポリベンゾオキサゾール構造、ポリイミド前駆体構造、及びポリベンゾオキサゾール前駆体構造からなる群から選ばれる1種以上の構造を有する樹脂を含むアルカリ可溶性樹脂(A)100質量部、テトラヒドロフルフリルアルコール及びフルフラール、フランカルボン酸アルキルエステルで代表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物を含む溶剤(B)10〜1000質量部、並びに感光剤(C)0.1〜100質量部、を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
ポリイミド構造、ポリベンゾオキサゾール構造、ポリイミド前駆体構造、及びポリベンゾオキサゾール前駆体構造からなる群から選ばれる1種以上の構造を有する樹脂を含むアルカリ可溶性樹脂(A)100質量部、 下記一般式(1):
IPC (6件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  C08G 73/10
FI (6件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/023 ,  G03F7/038 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08G73/10
Fターム (48件)：
2H096AA25 ,  2H096BA06 ,  2H096BA10 ,  2H096CA14 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  2H125AC64 ,  2H125AE03P ,  2H125AE04P ,  2H125AF04P ,  2H125AF52P ,  2H125AM73P ,  2H125AM75P ,  2H125AM77P ,  2H125AN11P ,  2H125AN32P ,  2H125AN51P ,  2H125AN54P ,  2H125CA12 ,  2H125CB06 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC11 ,  2H125CC17 ,  2H125CC21 ,  2H125EA13P ,  4J043PA01 ,  4J043QB26 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB122 ,  4J043UB152 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043YA05 ,  4J043ZB22
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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