特許

J-GLOBAL ID：201103005563496091

エキシマ光照射装置

発明者： 窪寺 昌一 ,  山田 英典
出願人/特許権者： 佐々木 亘 ,  窪寺 昌一 ,  宮崎沖電気株式会社 ,  清本鐵工株式会社 ,  日之出酸素株式会社 ,  宮崎ダイシンキャノン株式会社 ,  福豊帝酸株式会社 ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 衞藤 彰
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-313080
特許番号：特許第3125191号
出願日： 1999年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】内側電極と、内側電極の周側に設けられた誘電体と、誘電体から一定の放電空間を介して設けられた円筒状の外側電極とからなる電極対ユニットが、エキシマ光発生ガス充填室内に、エキシマ光取り出し窓に対し鉛直方向において一段、水平方向において複数配置され、該複数の電極対ユニットは、各外側電極が互いに接するように密に配置されていることを特徴とするエキシマ光照射装置。

IPC (1件)：

H01J 65/00

FI (1件)：

H01J 65/00 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 誘電体バリア放電ランプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-060113   出願人：ウシオ電機株式会社
• 誘電体バリヤ放電ランプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-145668   出願人：日本電気株式会社